聂兰舰,教授级高工,现任建材工业石英玻璃重点实验室主任及石英新材料研究所副所长。自2011年工作以来,一直从事高性能石英玻璃材料的制备技术、装备与标准化等研究工作。先后作为项目负责人主持国家级科研项目10项,重点参与国家级科研项目十余项,研制出惯导用高均匀石英玻璃、大尺寸零膨胀石英玻璃、全合成石英管、无氯抗辐射石英玻璃、间接法合成高纯无水石英玻璃和掺杂功能石英玻璃等多项石英玻璃新材料,为航天、强激光、半导体和精密光学等领域提供了关键基础材料,获授权专利31件(其中授权发明22件)、发表论文20余篇、参与论著2部、制修订标准20余项,荣获科技奖7项。
演讲摘要:
本报告深入探讨高纯石英材料制品在半导体制造中核心应用价值。其独特的物理和化学特性,如耐高温、耐腐蚀、低膨胀和高度绝缘等,使其成为半导体工业中不可替代的基础性材料。
在半导体制造过程中,高纯石英制品被广泛应用于硅片制造、晶圆制造和芯片制造等各个环节。特别是在硅片制造中,石英坩埚是拉制单晶硅棒的关键部件;在晶圆制造中,石英玻璃扩散管、石英舟等石英玻璃器具被大量使用;在芯片制造中,光刻、刻蚀和薄膜沉淀等工艺环节也需要使用高纯石英材料制品,如光掩膜基板等。
随着半导体技术的不断发展,对高纯石英材料制品的要求也越来越高。未来,随着物联网、区块链、汽车电子等新兴技术的不断涌现,半导体行业对高端石英产品的需求量有望继续保持增长,高纯石英材料制品在半导体制造中的应用前景广阔。