邵冲云,男,中国科学院上海光学精密机械研究所副研究员,主要从事稀土掺杂石英玻璃的结构缺陷研究。以第一/通讯作者发表SCI论文20余篇。获得授权专利5项。参与2本专著编写。担任多个期刊审稿人。主持先导B课题、XX国防课题、国自然、北斗专项子课题、上海市面上等科研项目。参与国家重点研发计划、国自然、xx重大国防项目等科研项目。荣获2020年上海市超级博士后、2020年上海市扬帆计划、2022年上海市技术发明奖一等奖、2023年尚光青年人才等殊荣。
演讲摘要:
熔石英玻璃具有深紫外透过率高、本征应力双折射低、抗激光损伤阈值高等性能优势,是DUV光刻机照明系统、物镜系统及光掩膜版中不可或缺的光学材料。本报告将简要介绍DUV光刻机对熔石英玻璃的性能要求,重点介绍熔石英玻璃在DUV光刻机应用过程中面临的挑战及其解决方案,以及深紫外激光辐照下熔石英玻璃的光学性能退化机理。